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单晶炉生产工艺
单晶炉生产工艺
生产工序:加料→熔化→缩颈生长→放肩生长→等径生长→尾部生长
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单晶炉的结构
单晶炉的结构
单晶炉炉体(包括炉底板、主炉室、炉盖、隔离阀室、副炉室、籽晶提升旋转机构和坩埚提升旋转机构)由304L不锈钢制造。所有腔体都经过缺陷炉室检查和探伤检验,并且经过0.6MPa水压试验和氦质谱检漏仪检漏。
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单晶硅片由此进入生产流程
单晶硅片由此进入生产流程
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锗单晶
锗单晶
半导体工艺设备为半导体大规模制造提供制造基础。摩尔定律,给电子业描绘的前景,必将是未来半导体器件的集成化、微型化程度更高,功能更强大。这里先介绍半导体工艺的头道工序——单晶体拉胚的单晶炉。
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锗单晶
锗单晶
锗单晶(Monocrystalline Germanium),是指不含大角晶界或孪晶的锗晶体。呈金刚石型晶体结构,是重要的半导体材料。
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光电博览会
光电博览会
作为极具规模及影响力的光电产业综合性展会,第24届光电博览会将于2022年9月7-9日在深圳国际会展中心举办
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