单晶硅片由此进入生产流程:
1、酸洗:使用稀硝酸HNO3,进行清洗,去除表面杂质及提炼时产生的四氯化硅。
2、清洗:清洗硅料经过酸洗后的残留杂质。
3、单晶硅料烘干:去除水分。
4、挑料:区分P型,N型硅料。
5、配料:对拉晶的硅料型号进行匹配。
6、单晶炉拉晶:
7、硅棒检测:检查有无位错,棱线断等现象。
8、开断:将单晶硅棒用带锯条切割成四方体。
9、包装:将开断后的单晶硅棒进行包装,送至下一道工序
10、磨圆:将单晶硅棒四个直角进行磨圆。
11、多线切割:瑞士的264,265。日本的PV800,MDM442DM设备进行切割0.33mm。
12、清洗:
13、单晶硅片检测: